如何提高氣體質(zhì)量流量計(jì)的準(zhǔn)確度？
氣體質(zhì)量流量計(jì)采用兩只經(jīng)過嚴(yán)格篩選，各項(xiàng)參數(shù)匹配一致并帶有保護(hù)套管的鉑熱電阻（RTD）作為基本測量原件，RTD探桿采用全焊接方式連接，加工精細(xì)焊接不會有氣孔和虛焊等現(xiàn)象，同時可真正做到防止堵塞，牢固耐用。
判斷氣體質(zhì)量流量計(jì)優(yōu)劣，實(shí)流標(biāo)定技術(shù)是極為重要的，因?yàn)闅怏w質(zhì)量流量計(jì)測量的氣體介質(zhì)的熱導(dǎo)性都不同，每一種氣體介質(zhì)的比熱容在不同溫度和壓力的數(shù)值是不一樣的。單純依靠常壓或者負(fù)壓空氣標(biāo)定，然后修正的方式來測量流量值是不準(zhǔn)確的。實(shí)事證明沒有實(shí)流標(biāo)定的流量計(jì)測量非空氣介質(zhì)，數(shù)據(jù)偏差很大。目前市場上氣體質(zhì)量流量計(jì)大都采用負(fù)壓空氣標(biāo)定，然后修正到高壓力工況，或者修正到其他氣體，比如甲烷（天然氣）、氫氣、氦氣、氬氣等等。修正標(biāo)定必然導(dǎo)致測量精度不能保證，空氣介質(zhì)標(biāo)定后的表應(yīng)用在其他氣體介質(zhì)，測量精度也無法保證。
氣體質(zhì)量流量計(jì)能自動控制氣體流量，即用戶可根據(jù)需要進(jìn)行流量設(shè)定，MFC自動地將流量恒定在設(shè)定值上，即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度有變化，也不會使其偏離設(shè)定值。簡單地說，氣體質(zhì)量流量計(jì)器就是一個穩(wěn)流裝置，是一個可以手動設(shè)定或與計(jì)算機(jī)聯(lián)接自動控制的氣體穩(wěn)流裝置。
氣體質(zhì)量流量計(jì)由流量傳感器、分流器通道、流量調(diào)節(jié)閥門和放大控制器等部分組成。氣體質(zhì)量流量計(jì)采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量(無需溫度壓力補(bǔ)償)。將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大，放大后的流量檢測電壓與設(shè)定電壓進(jìn)行比較，再將差值信號放大后去控制調(diào)節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。分流器決定主通道的流量。與質(zhì)量流量控制器配套的流量顯示儀上設(shè)置有穩(wěn)壓電源，數(shù)字電壓表，設(shè)定電位器，外設(shè)、內(nèi)設(shè)轉(zhuǎn)換和三位閥控開關(guān)等。
氣體質(zhì)量流量計(jì)一種電磁驅(qū)動的機(jī)械振動型的流量測量儀表，構(gòu)成該流量計(jì)測量管的材料會受到工藝介質(zhì)壓力和溫度的影響。而安裝在管道中的流量測量管(也稱流量振動管)又會受到工廠管線的機(jī)械振動、機(jī)械應(yīng)力、機(jī)械扭力等對測量的影響。另外氣體質(zhì)量流量計(jì)本身表現(xiàn)出的誤差特性則呈現(xiàn)“喇叭筒”，而并非以不同的流量呈現(xiàn)一條平的直線。鑒于以上原因，提高氣體質(zhì)量流量計(jì)實(shí)用準(zhǔn)確度的措施為：
1)針對氣體質(zhì)量流量計(jì)的實(shí)際工藝參數(shù)，對該流量計(jì)進(jìn)行“個性化標(biāo)準(zhǔn)”，從而實(shí)現(xiàn)在實(shí)際使用流量點(diǎn)的一定范圍內(nèi)，該氣體質(zhì)量流量計(jì)的實(shí)際測量誤差(與標(biāo)準(zhǔn)值的差)趨于零;
2)把好氣體質(zhì)量流量計(jì)的安裝環(huán)節(jié)，減少或消除機(jī)械應(yīng)力、機(jī)械扭力和機(jī)械振動等對該流量計(jì)使用的影響;
3)考慮工藝壓力、溫度等對氣體質(zhì)量流量計(jì)測量準(zhǔn)確度的影響;
4)把好氣體質(zhì)量流量計(jì)的投用關(guān)。
